Á¤ºÎ°¡ ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ±ØÀڿܼ±(EUV) Àåºñ µµÀÔ ÀýÂ÷¸¦ ´ëÆø °£¼ÒÈÇÑ´Ù. Àåºñ µµÀÔ¿¡ °É¸®´Â ±â°£Àº ÃÖ´ë 25ÀÏ ´ÜÃàµÇ°í °Ë»ç ºñ¿ëµµ Àåºñ´ç ¾à 5¾ï¿ø Àý°¨µÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº µî ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ ÆíÀǸ¦ À§ÇÑ Á¤ºÎÀÇ Á¦µµ °³¼±ÀÌ´Ù.EUV Àåºñ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ȸ·Î¸¦ »õ±â´Â ³ë±¤ °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ¸ç ³×´ú¶õµå ±â¾÷ÀÎ AS